等“看不见”的微观特征决议。传统触摸式丈量（如概括仪）功率低、易损害外表，而依据光学干与原理的白光干与仪与瞬态干与仪，以其

  使用白光干与的笔直扫描干与（VSI）形式，对镜片标明上进行微米级步进的笔直扫描，经过一系列剖析每个像素点干与条纹的对比度包络峰值，准确确认该点的高度，终究生成外表高度散布图，并计算出一系列粗糙度参数（如Sa, Sq, Sz）。

  •高效全场：单次丈量就可以取得数百万个数据点，防止传统探针式概括仪的单线扫描限制

  选用相移干与（PSI）形式，经过准确移动参阅镜引进已知相移，解算出被测镜片外表相对于抱负参阅波前的相位差，然后高精度复原其面形概括（PV值、RMS值），并与规划模型进行比对。

  •超高精度：重复性精度10 nm，肯定精度达λ/数百乃至数千（瞬态干与仪可达λ/5000）

  •直观：生成2D概括曲线D差错五颜六色云图，直观显现“高点”与“低点”三维微观描摹丈量

  VSI与PSI技术，获取镜片外表每个点的三维坐标（X, Y, Z），重建出完好、实在的三维外表描摹。可剖析部分斜率、曲率、体积、功用参数等。（二）技术目标与价值

  真三维数据：2048×2448（白光）或4096×3000（瞬态）高像素，细节丰厚•

  工艺确诊：经过描摹直接溯源研磨、抛光、镀膜等工艺缺点（如“桔皮”效应、划痕、坑点）

  粗糙度检测**：选用50×物镜，VSI形式扫描。测得外表粗糙度Sq (RMS) = 0.2 nm，契合0.3 nm的规划的基本要求，保证极低的散射损耗。2. **

  三维描摹剖析**：发现边际存在一处直径约30μm、深度约5nm的细小“洼陷”。结合工艺判别为抛光垫杂质所造成的，反应至前道工序进行管控。设备匹配示例：

  精度保证：1 nm笔直分辨率，10 nm重复性，满意亚纳米级评判需求。•

  灵敏视场：5×/10×/20×/50×物镜可选，兼保全口径面形与部分微区细节。•

  环境习惯：调配主动减振渠道，阻隔环境微振荡，保证实验室环境下的极限丈量稳定性。三、瞬态干与仪在产线快速检测与体系装调中的共同价值

  1）**高速丈量**：曝光时刻≥50 µs，单次丈量在秒级内完结，满意产线节拍。（

  2）**快速对准**：±0.5°大视场角结合主动对准功用，下降操作员技术要求，提高检测功率。（

  3）**合格/不合格断定**：软件预设面描述差（如PVλ/4），主动断定并分拣，完成100%在线全检。

  装调辅导**：将干与仪置于体系光路中，实时显现体系全体的波前差错图。装调人员依据差错散布（如像散、彗差）调整镜片距离或歪斜，直至波前RMS值最小化。2. **

  功能检验**：丈量终究体系的斯特列尔比（Strehl Ratio）、MTF等要害成像目标，保证到达衍射极限功能。设备匹配示例：

  口径灵敏：供给1英寸和6英寸两种口径，适配从微型镜头到大型光学体系的检测。

  “丈量”到“赋能”干与仪，特别是白光与瞬态干与仪的组合，现已逾越了传统“检测工具”的领域，成为光学镜片制作全流程的

  。它们将粗糙度、概括、三维描摹这些笼统的微观目标，转化为准确、可视、可剖析的数字模型，然后：•

  在装调端**，将依靠老师傅经历的“手工”变为可量化、可仿制的“科学”。经过为光学职业供给如此精细的“纳米之眼”，咱们正饯别“光启未来”的任务，以最广大的“丈量波长”，看护每一束光的完美旅程，助力我国光学智造建立“国际品牌”，迈向“百年波长”。